马斯克瞄准EUV光源：FEL技术受青睐 芯片成本或迎变革

机器人电报8月11日电，继造车、火箭与人形机器人业务之后，埃隆·马斯克正在进军半导体制造领域的关键环节——EUV光源技术。据透露，相较于目前主流的激光产生等离子体（LPP）光源，马斯克对自由电子激光（FEL）技术表现出浓厚兴趣。

理论上，自由电子激光（FEL）有望显著降低先进芯片的制造成本。然而，该技术目前仍处于早期研发阶段，距离大规模商业化应用尚有距离。